美国PMS颗粒仪

美国PMS颗粒仪

高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。

HPGP与大多数气体兼容，可用于许多反应性气体监测应用中

PDS-E(粒子数据系统-以太网)收集和报告HPGP-101-C探测器捕获的数据。

优点

降低成本

· 工艺气体分配系统的速度限定

· 在影响产量之前测定气体中的颗粒。

· 与氧，氢和大多数气体兼容

改进过程控制

· 验证气体质量

· 检测过程是否异常

· 量化系统变化的影响

· 准确的粒度

· 便利的网络数据管理软件，用于全面数据存储，管理，报告和警报

可靠性

· 被动腔式设计不需要经常维护

· 与其他系统不同，HPGP不需要监测流体

· 惰性气体吹扫，确保安全

· 如气体泄漏到安全舱，切断电源

功能

· 0.1 SCFM时具备0.1μm灵敏度

· 8个粒子通道

· 40-150 psig的线压

· 被动激光腔

· 并行处理阵列检测系统

· 安全舱

· 同时进行双重探测操作

· 氧气和氢兼容性

应用

· 气体分配系统的限定

· 过程气体监测

· 反应性气体监测

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